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雙面研磨/拋光機
YJ-9.6B10L/PE&YJ-9B5L/PE
被加工件最大直徑：180mm
機器重量：約1900kg
本機器主要適用于硅片、石英晶片、光學晶體、玻璃、寶石、鈮酸鋰、砷化鎵、陶瓷片等薄脆金屬或非金屬的研磨或拋光。 The machine is suitable for double side lapping and polishing of thin and fragile metal or non-metal parts such as silicon wafer, crystal quartz, optical crystal, glass, jewelry, lithium niobium acid, gallium arsenide, and ceramic wafer, etc.
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產品描述
參數
- 機器采用四電機驅動，游星輪在上下盤之間做行星運動，工件上下表面同時均勻研磨/ 拋光，生產效率高；
- 機器采用內齒圈升降，內齒圈升降采用點動控制方式操作，使操作者能自由控制齒圈升降高度；
- 下盤不抬升，設置了調節水平的三點支承結構，可對下盤的偏斜進行微調，以提高機器精度；
- 電機采用變頻調速器控制，能在有效設置范圍內以任意速度工作；
- 氣動系統采用優質氣控元件，上盤、齒圈升降平穩無爬行現象，上盤下降過程中，設置了快降和緩降；
- 太陽輪、齒圈皆可以單獨調速，能靈活調整工藝參數，工藝適應性強。
| 項目 | 規格 | 項目 | 規格 |
| YJ-9B5LE | YJ-9.6B10LE | ||
|
上盤(mm) 下盤(mm) (外徑x內徑x厚度) |
φ638xφ222x40 (上盤) φ638xφ222x40 (下盤) |
上盤(mm) 下盤(mm) (外徑x內徑x厚度) |
φ622xφ386x40 (上盤) φ622xφ386x40 (下盤) |
| 安裝游星輪個數 | 5 | 安裝游星輪個數 | 10 |
| 被加工件最大厚度(mm) | 20 | 被加工件最大厚度(mm) | 20 |
| 被加工件最大直徑(mm) | 180 | 被加工件最大直徑(mm) | 100 |
| 下盤轉速 | 0-50r/min | 下盤轉速 | 0-50r/min |
| 上盤轉速 | 0-40r/min | 上盤盤轉速 | 0-40r/min |
| 內齒圈抬升行程 | 0-25mm | 內齒圈抬升行程 | 0-25mm |
| 主電機 | 3相 3kw可增至5.5kw 1450 r/min | 主電機 | 3相 3kw 1450 r/min |
| 砂泵電機 | 120W | 砂泵電機 | 120W |
| 拋光時間設定范圍 | 0-9999s | 拋光時間設定范圍 | 0-9999s |
| 氣源壓力 | 0.5-0.6Mpa | 氣源壓力 | 0.5-0.6Mpa |
| 工作壓力 | 0.45-0.6Mpa | 工作壓力 | 0.45-0.6Mpa |
| 裝機容量 | 約6KVA可增至9KVA | 裝機容量 | 約6KVA |
| 外形尺寸(長x寬x高) | 1400x970x2340 (mm) | 外形尺寸(長x寬x高) | 1400x970x2340 (mm) |
| 設備質量 | 約1900kg | 設備質量 | 約1900kg |
| 設備每平方米重量 | 約1400kg/m2 | 設備每平方米重量 | 約1400kg/m2 |
| 設備要求地面承重 | 1550kg/m2 | 設備要求地面承重 | 1550kg/m2 |
| YJ-9B5PE | YJ-9.6B10PE | ||
|
上盤(mm) 下盤(mm) (外徑x內徑x厚度) |
φ638xφ222x40 (上盤) φ638xφ222x40 (下盤) |
上盤(mm) 下盤(mm) (外徑x內徑x厚度) |
φ622xφ386x40 (上盤) φ622xφ386x40 (下盤) |
| 安裝游星輪個數 | 5 | 安裝游星輪個數 | 10 |
| 被加工件最大厚度(mm) | 20 | 被加工件最大厚度(mm) | 20 |
| 被加工件最大直徑(mm) | 180 | 被加工件最大直徑(mm) | 100 |
| 下盤轉速 | 0-50r/min | 下盤轉速 | 0-50r/min |
| 上盤轉速 | 0-40r/min | 上盤盤轉速 | 0-40r/min |
| 內齒圈抬升行程 | 0-25mm | 內齒圈抬升行程 | 0-25mm |
| 主電機 | 3相 3kw可增至5.5kw 1450 r/min | 主電機 | 3相 3kw 1450 r/min |
| 砂泵電機 | 120W | 砂泵電機 | 120W |
| 拋光時間設定范圍 | 0-9999s | 拋光時間設定范圍 | 0-9999s |
| 氣源壓力 | 0.5-0.6Mpa | 氣源壓力 | 0.5-0.6Mpa |
| 工作壓力 | 0.45-0.6Mpa | 工作壓力 | 0.45-0.6Mpa |
| 裝機容量 | 約6KVA可增至9KVA | 裝機容量 | 約6KVA |
| 外形尺寸(長x寬x高) | 1400x970x2340 (mm) | 外形尺寸(長x寬x高) | 1400x970x2340 (mm) |
| 設備質量 | 約1900kg | 設備質量 | 約1900kg |
| 設備每平方米重量 | 約1400kg/m2 | 設備每平方米重量 | 約1400kg/m2 |
| 設備要求地面承重 | 1550kg/m2 | 設備要求地面承重 | 1550kg/m2 |
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